现有废气处理设备有哪些困扰问题？

　　当制作工艺机台的废气自制作工艺反应室抽离后，会先经过废气处理设备，再作进一步处理，之后排入空气。日前的废气处理设备，废气处理厂家通常采用前段高温加热，使半导体制作工艺废气氧化，后段再经洒水装置以清水喷洒冲洗，将高温废气降温，同时洗涤高温废气，使废气中的微粒或者酸碱溶解于水中，再将废水经由排水管排出，并通过抽风装置将处理过的废气通过排气管排放至外界。由于此设备有效结合氧化及水洗的优点，能适用于大量粉尘的制作工艺中，因此广受各大半导体厂选用。

　　废气处理厂家为了与抽风装置所产生的风压抗衡，现有的废气处理设备排水管须设置有一些高的存水弯，以利用其静水压力来抵御风压，使废水能顺利经由排水管排出。然而，当抽风装置所产生的风压高过2000毫米水柱(mmAq)以上时，其所需的存水弯长度将长达几十公尺(米)，无论在实务上或建置空间上皆不适宜。若用以抵御抽风装置的风压的存水弯长度不足，则废水会随着处理过的废气一同吸送至排气管而排放至外界，不但造成环境污染，还会使管线积水，进而造成严重的管线腐蚀问题、工安危害以及维修上的困扰。

　　对此问题，废气处理厂家给出了解决方案，下期我们将为大家展示，敬请期待。